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干式螺桿真空泵特征

①可靠性高。螺桿式干式真空泵零部件少，沒有易損件，因此它運轉可靠，壽命長。

②操作維護方便。

③動力平衡性好。螺桿式干式真空泵沒有不平衡的慣性力，機器可平穩地高速運行。

④適應性強。螺桿式干式真空泵具有強制輸氣的特點，在寬廣的壓力范圍內能保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響.

⑤多相混輸。由于螺桿式干式真空泵轉子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵、可凝性蒸汽等多種氣體。

螺桿式干式真空泵的應用

螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。在核工業中用于核反應堆及核工業真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫藥工業中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業中用于香料、香精濃縮，食品包裝等。應用范圍極為廣泛。具體如下：

具體應用：干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑的回收、油氣回收、工廠普通真空、電子、真空鍍膜、航空、核工業領域 能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體、腐蝕性氣體，尤其能滿足對獲得清潔真空要求較高的環境。 具體應用：真空鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、拉單晶、特氣制造、離子刻蝕等。

紡織、冶金等行業 在氨綸、芳綸、纖維、冶金等相關工藝中應用干式真空泵， 具體應用：真空脫泡、VOD真空吹氧脫碳法等。

一類是以半導體行業為代表，要求真空泵向被抽空間內的返流為零，以保護工件免受污染。對半導體行業中應用的真空系統的要求大體分為三個等級。①清潔條件下的抽氣，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣;②中等條件下的抽氣，抽除工藝過程的反應氣體，但無固體顆粒物;③惡劣條件下的抽氣，抽除化學反應物(有毒甚至致癌)及固體顆粒物。

另一類是以石化行業為代表，要求真空泵能大量抽除可凝性氣體，或腐蝕性氣體，或有毒氣體，或含有微塵的氣體。螺桿式干式真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業等領域。在半導體工業中用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產PLASMA的CVD制程。在核工業中用于核反應堆及核工業真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑，在脂肪酸生產中用來消除水污染，清除噴射器中的阻塞物;醫藥工業中用于回收藥液及藥物中間體，為人造器官生產提供清潔無菌條件，回收氣體消毒劑;食品工業中用于香料、香精濃縮，食品包裝等

4、往復式真空泵

往復式真空泵(又稱活塞式真空泵),屬于低真空獲得設備之一，往復式真空泵通過連桿曲軸機構在曲軸箱內運動使活塞在氣缸中作往復運動，周期性地改變吸排氣腔的容積，并依靠吸排氣閥的作用完成吸排氣動作，從而獲得真空。它的極限壓力一般在1330～2660P 往復式真空泵(簡稱往復泵)又名活塞式真空泵，屬于低真空獲得設備之一。它與旋片式真空泵相比較，它能被制成大抽速的泵;與水環式真空泵相比，效率稍高。這類泵的主要缺點是結構復雜，體積較大，運轉時振動較大等。其在很多場合可由液環式真空泵所取代。

往復式真空泵它的抽速范圍比較大，從50L/S到600L/S，適用于石油、化工、醫藥、食品、輕工、冶金、電氣等行業中的真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空蒸發、真空濃縮、真空結晶、真空干燥、真空過濾及混凝土的真空作業等方面的抽除氣體。往復式真空泵不適用于抽除含氧過高的、有爆炸性的、對金屬有腐蝕性的、以及含有顆粒塵埃的氣體，也不適用于把氣體從一個容器輸送到另一個容器，作輸送泵用。往復式真空泵適用于抽送不含固體顆粒、無腐蝕性的氣體，這種真空泵的抽氣速率較大，真空度較高。故在化工廠中廣泛應用。但其結構復雜，維修量大。

W型往復式真空泵，是獲得粗真空的主要設備之一，它用于從密閉容器中或反應鍋中抽除真空或其它氣體，它不適用于抽除腐蝕性的氣體或者帶有硬顆粒灰粉的氣體。

W型往復式真空泵的結構組成：

W型往復式真空泵的結構由兩個主要部分組成;

1、W型往復式真空泵機械傳動部分和氣體流通部分。機械傳動部分整個結構原件裝在一個封閉的機體內，曲軸被支承在機體兩旁的圓錐滾子軸承中。

2、W型往復式真空泵曲軸一端裝有一個大帶輪，以驅動傳動部分。連桿把曲軸的軸頸和十字頭連接起來。活塞桿的一端旋入十字頭的螺孔中，另一端裝在活塞的錐孔并以螺母固定之。

3、W型往復式真空泵電動機和裝在軸上的小帶輪通過三角膠帶帶動曲軸旋轉，這樣通過連桿和十字頭的作用，使活塞在氣缸中作往復運動。

4、W型往復式真空泵連桿曲軸機構在機體內運動時，使油池中的潤滑油飛濺以潤滑軸承、曲軸頸、十字頭和滑道等磨擦表面。為了便于檢查和維修傳動機構，機體兩側和后面裝有可拆卸的門蓋，在后蓋上裝有油窗以批示機體內油池的油面高度

w型往復式真空泵的應用

w型往復式真空泵已被廣泛應用于各種工業部門，例如化工或食品工業中的真空蒸餾、蒸發、結晶、干燥和過濾，真空冶金工業中的除氣，電氣工業上的浸滲等。不適用于抽除含氧過高的、有爆炸性的、對金屬有腐蝕性的、與泵油會起化學反應的以及含有顆粒塵埃的氣體，也不適用于把氣體從一個容器輸送到另一個容器，作輸送泵用。所以化工、制藥行業選型要謹慎。

往復式真空泵選型須知:

往復式真空泵產品名稱與型號，往復式真空泵管道口徑，往復式真空泵使用揚程(m)，往復式真空泵電機功率(KW)，往復式真空泵電機轉速(r/min)，往復式真空泵電壓〔V〕，往復式真空泵使用的吸程(m)，往復式真空泵使用的介質名稱、比重、粘度、腐蝕性、毒性。

5、水噴射真空泵

水噴射真空泵原理與用途

水噴射真空泵是一種具有抽真空、冷凝、排水等三種有效能的機械裝置。它是利用一定壓力的水流通過對稱均布成一定側斜度的噴出。聚合在一個焦點上，由于噴射水流速度較高，于是周圍形成負壓使器室內產生真空、另外由于二次蒸汽與噴射水流直接接觸，進行熱交換，絕大部分的蒸汽凝結成水，少量未被冷凝的蒸汽與不凝結的氣體亦由于與高速噴射的水流互相摩擦，混合與擠壓，通過擴壓管被排除，使器室內形成更高的真空。水力噴射器應用極為廣泛，主要用于真空與蒸發系統，進行真空抽水，真空蒸發、真空過濾、真空結晶、干燥、脫臭等工藝，是制糖、制藥、化工、食品、制鹽、味精、牛奶、發酵以及一些輕工、國防部門廣泛需求的設備。但目前生產水力噴射器的制造廠較小，品種亦不齊全。采用多噴咀與汽環(導向盤)等結構。以及用多級泵進水，低位安裝，完善與提高了其工作性能，因此具有一定的先進性、是真空冷凝設備的一種革新。

水噴射真空泵結構優點

水噴射真空泵由器體、器蓋、噴咀、噴咀座板、導向盤、擴壓管及單向閥等部件組成，噴咀用不銹鋼制造，噴咀座板由優質鋼加工，其余零件則系鑄鐵鑄造，噴咀 采用多噴咀的結構形式，以便得到較大的水-汽接觸面積，有利于熱交換的進行，獲得較好的真空效果。噴咀座板加工精密，精度較高，以便噴射水流準確地聚集在同一的焦點。導向盤用于減慢蒸汽(或空氣)的流速，使蒸氣均勻地導入器室以免噴射水流偏斜，降低抽射效能。水噴射真空泵整個裝置結構緊湊精密，強度亦較高，用于真空蒸發系統中，由于能把冷凝器的冷凝作用與與真空泵的抽氣作用合并在一個設備中同時 大大地簡化了工藝流程，比之原來用真空泵與舊式冷凝器的裝置，可以節省去真空 空泵、冷凝器、分水器等設備，并且還有下列優點：

(1)水力噴射體積小、重量輕、結構緊湊。而效能又比較高，耗電量低于真空系統，投資省。

(2)操作簡單維修方便，不用專職人員看管

噴射式泵的種類

噴射式泵屬于流體作用泵，是利用流體流動時能量轉化以達到輸送流的裝置。噴射泵的工作流體可以是水蒸氣、空氣、水和油等。噴射式真空泵又稱為射流真空泵，是利用噴嘴的高速射流來抽除容器中的氣體來獲得真空的，在化工生產上主要用作真空泵，在蒸發和蒸餾過程中廣泛使用。

噴射式泵的工作流體可以是蒸汽，也可以是水，還可以是其他液體或氣體。工作蒸汽在高壓下經噴嘴以很高的速度噴出，在噴射過程中，蒸汽的靜壓能轉變為動能，因而在吸入口處造成了一個低壓區，將所輸送的流體吸人。吸入的流體與蒸汽混合后進入擴大管，流速逐漸降低，壓強隨之升高，并從壓出口排出。

1.水蒸氣噴射泵

水蒸氣噴射泵的工作介質為水蒸氣，它是能直接對大氣排氣的一種射流真空泵。如圖11 15所示，其工作過程分為3個階段：一是絕熱膨脹階段，即工作蒸汽通過噴嘴絕熱膨脹的過程，工作蒸汽將其壓力能轉化為速度能，并以很高的速度噴射出;二是混合階段，即工作蒸汽與被抽氣體進行混合并使兩股氣流進行能量交換的過程，被抽氣流的速度得到增加，而工作蒸汽將攜帶著被抽氣體進到擴壓器中;三是壓縮階段，工作蒸汽與被抽氣體一邊繼續進行能量交換.一邊逐漸被壓縮，使動能又轉化為位能，當到達擴壓器的喉部完成混合階段并使兩種氣流達到同一速度，此后再經過擴散，使速度降低和壓力進一步擴大，然后將被抽氣體排出噴射器，從而完成蒸汽噴射泵的工作過程。

2.空氣噴射泵

空氣噴射泵與水蒸氣噴射泵的工作原理相類似，但其工作介質則為壓縮空氣或常壓空氣。根據工作介質是高壓空氣還是常壓空氣，可將其分為一般空氣噴射泵和大氣噴射泵。

一般空氣噴射泵因工作介質的耗量很大，故必須配備容量大的空氣壓縮機;一般空氣噴射泵.大多數是以單級使用的。

大氣噴射泵通常以一級或二至三級串聯工作，并常安裝在水環真空泵的進VI而組成高真空機組，以提高水環真空泵的極限真空度和擴大工作壓力范圍。

3.水噴射真空泵

當真空度要求不太高時，可采用一定壓力的水作為工作介質的水噴射真空泵。水噴射的速度，通常為15～30m/s左右。它雖屬于粗真空裝置.但其具有產生真空和冷凝蒸汽的雙重作用，所以得到廣泛應用。水噴射真空泵的工作原理與蒸汽噴射泵相類似，其效率通常在30%以下。

噴射泵的應用

噴射式真空泵結構簡單，制造容易，沒有運動部件，不易發生故障，維修工作量小。能輸高溫的、腐蝕性的以及含有固體顆粒的流體。但其效率較低，一般在25%～30%左右。在石油化工生產中，噴射泵不僅用來代替機械式真空泵，而且還廣泛用于混合器、冷卻器、吸收器等。

噴射泵是被廣泛應用于輸送，壓縮混合氣體和蒸汽、液體和固體的設備，氣體或液體常被作為動力介質。噴射泵用于產生真空是另一個非常重要的應用。

噴射泵適用于高溫、高壓、高真空領域，如真空蒸發、真空干燥、真空制冷、真空蒸餾，還可提升液、堿或含有磨料的懸浮液，也適用于強輻射的特殊環境。

噴射泵在產生真空方面的應用：

1、因為噴射泵的多樣性，其已被廣泛應用于各個領域，例如，化學反應器、排氣系統、水處理設備、混合槽、儲存槽、廢水處理設備、加熱系統、加熱供氣系統、電廠、游泳池、鮭廠的供水等。以及不同工業領域中真空的形成。

2、用水蒸汽作為動力介質的噴射泵形成真空是一個重要應用領域。其輸送的高速噴射相當于聲速的幾倍，因此噴射泵也能夠輕而易舉地在真空中處理大容量的物質。

3、因為單級噴射泵只能克服極其有限的壓縮比，當抽吸壓力低時，幾個噴射泵必須串聯安裝。多級水蒸汽噴射真空泵的抽吸壓力可以達到低至0.01mbar。為了冷凝大部分的動力水蒸汽并使下一級的抽吸量減少到最小，一般在兩個噴射泵中間安置一個冷凝器。根據應用場合，采用直接接觸冷凝器或表面冷凝器。

4、在噴射泵中主要以水蒸汽作為動力介質。在絕大部分工業中，水蒸汽作為基本的能量被大量地生產，因此非常容易獲得。在動力水蒸汽的冷凝過程中，或多或少會產生廢水。雖然量很小，而且即使把廢水的排放費用考慮進去，水蒸汽噴射泵仍是最經濟的真空泵，但對真空噴射泵來說總是有一定的負面影響。

5、因此作為一種選擇，產品蒸汽被愈來愈多地應用于噴射泵的操作。例如，溶劑蒸汽、氯苯、甲苯、丁二醇、乙烯、乙二醇、呋喃。

6、在這種情況下，動力蒸汽冷凝后再次蒸發被利用作為動力介質。由于有機蒸汽的蒸發溫度低，在大多數情況下，這種操作方式比采用水蒸汽運行更有利于節省能源。

7、采用產品蒸汽作為動力介質的噴射泵的另一重要操作范圍是在工藝物料中不允許混入水。為了獲得最佳的效率，采用產品蒸汽作為動力介質的噴射泵仍需詳細的研究。

8、噴射泵的優點：就結構和功能而言，這種噴射泵同采用水蒸汽作為動力介質的真空噴射泵并無大的差別，而且有著相同的優點：結構簡單;操作安全可靠，無需保養;使用壽命長，耐磨損;適當選材可具耐腐蝕性;所有材料均可制造。另外，由于冷凝液循環使用，無排放污染。

噴射真空泵應用于各種工業領域，如下是幾個重要的應用領域。

1、在化工方面GEA噴射泵公司已經開發了組合泵，并已普遍應用。這種泵的顯著特點是外形緊湊及雙設計構造。兩個平行的泵既能相互獨立交替操作，也能?同時操作，因此就可能在不停車的情況下進行維修。

2、在化學工業中，如果不銹鋼不能滿足耐腐要求，可使用陶瓷/石墨的真空噴射泵來脫除腐蝕性氣體和水蒸汽。噴射泵用陶瓷制成，表面冷凝器由石墨制成。?表面冷凝器由一緊湊的冷凝器組合而成。這種結構有著尺寸小，所需空間少及現場組裝簡單的優點。

3、在煉油廠，水蒸汽真空噴射泵同液環泵組合用于煉油廠的減壓精餾塔系統。這兩種泵的組合保持很低的蒸汽、水和電的消耗。由于能輸送所產生的大量氣體?(在104～106m3/h范圍內)，GEA噴射泵公司的水蒸汽真空噴射泵對此用途是非常合適的。同時，運行安全可靠，并不易發生故障。

4、同樣，涉及大體積流的情況是在煉鋼脫氣的真空產生中。為了生產一定品質的鋼，一些生鋼的處理過程需在真空下進行。這種真空泵必須有兩個作用。一是?迅速抽空操作容器，以達到所需的壓力。這意味著真空噴射泵的初始揣吸量必須很大(幾千kg/h)。二是保持低壓的同時脫除大量惰性氣體(大約相當于0.6mbar下，幾百kg/h)。

5、另外，真空噴射泵還用以可食用油脫臭、化學合成物的聚合物的生產、海水脫鹽、油脫水、食品、飲料和煙草的調理、紡紗浴的抽吸及其它許多應用領域。

6、旋片式真空泵

旋片式真空泵是一種油封式機械真空泵，是真空技術中最基本的真空獲得設備之一。旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。有單級旋片真空泵和雙級真空泵兩種。

旋片式真空泵的結構說明：

旋片式真空泵是一種容積泵，它借助于旋片在泵腔中連續運轉將氣體吸入并壓縮，最后由排氣口排出。泵主要由定子、轉子、旋片等組成，轉子被偏心地裝入定子腔內。轉子槽中有兩塊旋片，旋片彈簧置于兩旋片之間。定子上的進、排氣口被轉子和旋片分離為兩部分。

當轉子在定子腔內旋轉時，旋片在彈簧張力與本身離心力的共同作用下其端部緊貼于泵腔內壁滑動，周期性地將進氣口側的腔內容積擴大而吸入氣體，同時逐漸縮小排氣口的容積，將已吸入的氣體壓縮，然后從排氣口排出從而達到抽氣的目的。

旋片式真空泵的特點及適用范圍：

特點：

真空泵吸氣口安裝有金屬絲網的粗過濾器。能防止固體的外來塵粒吸入泵腔。油分離器內安裝有高效油氣分離效果的排氣過渡器。停泵時，內置于吸氣口的吸氣閥使泵與被抽系統隔離，防止油返入被抽系統。泵由空氣冷卻。XD旋片真空泵所有的泵均由直聯的電動機通過彈性聯軸器驅動。

適用范圍：

1.真空泵適用于密閉系統的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。

2.入口壓力范圍：100Pa—100000 Pa，超出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產生。XD型旋片式真空泵工作環境溫度和吸入氣體溫度應在5℃~40℃之間。

3.真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。

4.一般供應的電動機不防爆，如要求防爆或其它特殊要求時電動機必須符合相關的標準。

旋片式真空泵的應用：

其工作壓強范圍為101325-1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫藥等生產和科研部門。 旋片式真空泵是抽除氣體的基本設備之一，它可單獨使用，也可與增壓泵、擴散泵、分子泵等超高泵連接在一起作為前級泵使用。

1、旋片式真空泵是用以抽除特定密封容器內的氣體，使該容器獲得一定真空的基本設備，由于現代科學技術的高度發展，旋片真空泵的應用遍及各個科學領域和各種企業事業單位，可供冶金、化工、輕工、石油、醫療、制藥、印染、電器、電真空、半導體、食品、原子能、紡織等科研機關、大專院校、工礦企業作科研和生產與教學之用。并廣泛在榨油機上使用。

2、由于旋片真空泵是用黑色金屬制造，而且比較精密，整個泵的工作都是聯系在一起的，所以旋片真空泵不適用于抽除含氧過高的、有毒的、有爆炸性的浸蝕黑色金屬的和對真空油起化學作用的各種氣體，也不可做為壓縮機和輸送泵使用。如有氣鎮裝置的泵，可抽除一定地的可凝汽體。

旋片式真空泵的使用

啟動前先檢查水冷泵的冷卻水是否接通，當環境溫度較低時，可用手搬動皮帶輪，使泵腔內的油排入油箱。然后按動電機按鈕送電，注意電源方向是否接反，泵旋轉方向是否正確。檢查真空泵油量是否在油標線附近;接通被抽系統閥門時不要開得太快，防止大量噴油;運轉中注意有無不正常的噪聲和沖擊聲，注意泵的油溫升高，有局部過熱時立即停泵，防止卡泵或磨損。停泵一定要從泵入口放大氣(一般購買的機組都有自動放閥);斷電后再斷水。

性能特點

旋片真空泵是由旋片分隔的泵腔工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵，當采用工作液來進行潤滑并填充泵腔死隙，分隔排氣閥和大氣時，即為通常所稱的迅達真空泵的旋片真空泵，在性能上有如下特點：

1.體積小、重量輕、噪音低;

2.設有氣鎮閥，可抽除少量水蒸氣;

3.極限真空度高;

4.內裝強制進油，潤滑充分，性能可靠;

5.設有自動防返油雙重保險裝置;

6.保持進氣壓強為1.33×10Pa時仍可連續運轉;

7.不漏油、不噴油、不污染工作環境,排氣裝置有專配油霧收集器;

8.可以配備小口徑轉換接頭和國際標準的KF接口。

旋片式真空泵的使用特點

抽氣速率： 4~100L/S (升/秒)

極限壓強： ≤6*10-2Pa (帕)

極限真空： ≤1.3Pa (帕)

氣體類型： 常溫無其它混合物的清潔干燥空氣，不許有含其它粉塵及水分的空氣。

工作要求： 進口壓強在大于6500Pa時連續工作時間，不得超過3分鐘以免噴油引起泵損。

工作要求： 進口壓強在小于1330pa的條件下，允許長時期連續工作。

環境溫度： 真空泵一般在不低于5℃的室溫及不高于90%的相對溫度的環境內使用。

7、滑閥式真空泵

滑閥式真空泵的結構特點

滑閥式真空泵是工業領域常用的一種油封式真空泵。區別于其他油封式真空泵，它最大的特點是通過滑閥式轉子在泵浦內做機械運動，改變腔體容積來達到特定的抽氣母的。因此滑閥式真空泵也是一種容積式泵浦。與其他油封式真空泵一樣也可以抽取一般性氣體或含有少量可凝性氣體，在不同領域的真空應用也較為廣泛。

與一般旋片式真空泵一樣，滑閥式真空泵也有單級與雙極之分，當然根據它的結構特征還有立式和臥式兩種不同的結構形式。單級滑閥式真空泵極限真空值一般可以抽到0.4^-1.3Pa，雙級滑閥式真空泵的極限壓力可以抽到6 X 10-2 ---10-'Pa的范圍內。在實際工業應用中，超過一般抽速超出150L/S的工藝要求的，通常采用單級式滑閥真空泵。

由于結構上的特點，使得這種泵具有能夠長期在較高壓強和較差的抽氣條件下工作、使用壽命長等優點，在各個領域(例如真空冶煉、真空干燥、真空鍍膜、真空浸潰等其他真空作業領域)都得到了廣泛的應用。由于滑閥泵耐用、可靠，能在惡劣的抽氣環境下工作，因此它可以單.獨使用，也可作為其他真空泵的前級泵。

滑閥泵有單級H型、雙級2H型：滑閥式真空泵適用于抽吸空氣及其他一般性氣體，當使用氣鎮時，亦能抽吸含有掌上少量的可凝性氣體(如水蒸汽)。當抽吸含氧過高的、有爆炸性的、對黑色金屬有腐蝕性的、對真空油起化學反應的氣體時，應該附加裝置。本型泵可單獨使用，也可作為擴散泵、油增壓泵、羅茨泵等高真空泵的前級泵，相對于旋片式真空泵，H型滑閥泵比較耐用，使用壽命長。該泵在真空鍍膜、真空熱處理、真空燒結、分子蒸餾、航空模擬試驗使用較多。

滑閥真空泵有以下特點：

1)經過優化設計配重，振動少，噪聲低。

2)軸承密封室單獨供油，與泵腔隔開，避免了雜質進入軸承、密封過早損壞。

3)根據用戶要求，可附帶副油箱，達到冷卻真空油分離雜質的作用。

4)除老式H-150外，電機均置于泵的上方，結構緊湊，占地面積少

滑閥真空泵參數：

滑閥真空泵的應用范圍

廣泛應用在航天、航空、原子、石油、化工、制藥、電工、陶瓷、冶煉、新材料、真空熱處理、真空鍍膜等行業。 滑閥真空機組具有顯著的節能效果，真空度高，高真空區間抽氣量大，可廣泛應用于電力工業的變壓器、電線電纜、電容器的真空浸漬、真空干燥工藝中。是真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空濾油、冷凍干燥;航空模擬試驗較理想的真空設備。如抽吸含有少量水蒸汽或少量粉塵的氣體，應加裝過濾裝置。

滑閥真空泵的應用要點：

滑閥泵雖然是一種老泵，但與旋片泵等比較，它具有允許工作壓力高"(104Pa)、抽氣量大、能在較惡劣環境下連續工作，經久耐用等突出優點，所以在真空冶煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等行業得到廣泛的應用隨著真空應用范圍越來越廣泛，在真空干燥、真空浸漬、真空脫水、真空冶煉等行業用滑閥泵抽除氣體都含有大量水蒸汽。如果在真空泵中不能及時排除，就會污染真空泵油，造成真空泵抽氣性能降低。盡管在泵上設置了氣鎮閥，認可降低泵的極限真空，用氣鎮方法抽除可凝性氣體，但對于真空干燥、脫水、煉泥等水蒸汽含量高的抽氣過程來說，用氣鎮方法并不理想，一般有以下方法可試用:

a滑閥泵與冷凝器配套使用。目前國內多數廠家采用這一方案。原理是將冷凝器串接在泵與被抽容器之間，把真空工藝設備中的大量水蒸汽用冷凝器捕捉成水，從而減少水蒸汽進入真空泵中的數量、降低泵油污染程度。如果適當調節冷凝器出口閥門流量和充分發揮真空泵上的氣鎮閥作用，可以取得較好的抽氣效果。

b變滑閥泵為熱泵。根據水的物理特性及相圖原理，可將滑閥式真空泵改成熱泵。這樣.可在較高泵腔溫度條件下，抽除大量可凝性水蒸汽。其工作原理如下：用一套自動溫度調節控制器，通過自動控制泵的冷卻水流量來達到控制泵腔溫度的目的。使得在抽氣過程中，泵腔的溫度始終控制在高于水的飽和蒸汽壓溫度，促使被抽氣體中的大量水蒸汽能順利排出。

為避免出現由于泵腔內溫度較高，泵長期工作可能會出現的泵油變稀、真空度下降、運轉零部件卡死等現象，在設計中可采用耐高溫的泵油如(N-62或N-68)和耐高溫軸承.加大運轉零部件的間隙等

8、羅茨真空泵

羅茨真空泵的結構形式

1、泵總體結構型式

羅茨真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。目前國內外的羅茨真空泵總體結構大致有三種型式：

(1)立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。

(2)臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，高速運轉時穩定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。

(3)泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。僅見于國外產品。

2、泵的傳動方式

羅茨真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的最大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便;b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。

另一種是電動機和傳動齒輪分別裝在轉子兩側。這種形式使泵的整體結構勻稱，但主動軸扭轉變形較大。為保證轉子在運轉過程中的間隙均勻，要求軸應有足夠的剛度，軸和轉子之間的聯接要緊固(目前已有轉子與軸焊或鑄成一體的結構)。這種結構拆裝都很方便，所以被廣泛采用。

羅茨泵的特征是：

啟動快，耗功少，運轉保護費用低，抽速大、效力高，對被抽氣體中所含的大批水蒸汽和灰塵不敏感，在100～1帕壓力規模內有較大抽氣速率，能敏捷消除忽然放出的氣體。這個壓力規模恰益處于油封式機械真空泵與分散泵之間。因而，它常被串聯在分散泵與油封式機械真空泵之間，用來進步兩頭壓力規模的抽氣量。這時它又稱為機械增壓泵。

(1)在較寬的壓力規模內有較大的抽速;

(2)轉子具備良好的幾何對稱性，故振動小，運轉顛簸。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不必光滑，摩擦喪失小，可大大下降驅動功率，從而可完成較高轉速;

(3)泵腔內無需用油密封和光滑，可增加油蒸氣對真空體系的凈化;

(4)泵腔內無收縮，無排氣閥。構造簡樸、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;

(5)收縮對比低，對氫氣抽氣后果差;

羅茨真空泵的應用

羅茨真空泵在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。同時羅茨真空泵廣泛用于真空冶金中的冶煉、脫氣、軋制，以及、食品、醫藥工業中的真空蒸餾、真空濃縮和真空干燥等方面。真空泵配件為用于真空泵噪聲治理的，真空泵消音器。

轉子外表為外形較為龐雜的曲線柱面，加工和檢討對比艱難。羅茨泵近幾年在海內外得到較快的開展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業得到了普遍的運用。

9、擴散泵

性能參數

通常擴散泵的性能是以極限真空、最大反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。

1.極限真空

如果對一般油擴散泵的結構進行改進，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進噴嘴角度設計，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴散泵性能大大改善，極限真空可達到更低的壓強。

2.最大反壓強

最大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強最大值。如果前級泵所產生的壓強高于最大反壓強，則擴散泵就不能正常工作。

3.抽氣速率

擴散泵的抽速可根據氣體分子運動理論來推算出來。

4.設置冷阱及低溫擋板的原因

由于擴散泵噴嘴噴出來的油蒸氣分子，大部分由泵壁冷凝，這是因為泵壁外設置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射，散射會返回被抽空間，這種現象在低溫實驗室中要特別注意。如在擴散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫擋板，這樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來，截止了油蒸氣的返流。

擴散泵的應用范圍

擴散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似,它們都是利用高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽氣的目的,所以擴散泵具有和水蒸汽噴射泵相似的特點。不同點主要在于擴散泵工作在高真空區域,其工作壓強范圍為10-2～10-6pa。擴散泵廣泛用于電子、化工、冶金、機械、石油及原子能等工業部門中。

影響油擴散泵性能的因素如下

1、油擴散泵的返流。

2、氣體分子的反擴散。

3、擴散泵油的裂化分解，一般擴散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(室溫下0.00000001Pa左右)，受熱穩定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點的液體，如硅油是擴散泵中比較理想的工作油。

4、泵清洗不干凈，污染物質留在泵內并重復循環，影響其真空度。

擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵，目前，擴散泵是最廣泛、最主要的獲得高真空的工具之一 。作為前級泵。高真空擴散泵主要由泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣導流管、加熱器和冷卻器等組成。

10、分子泵

子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉子圓柱外表面或泵體內表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞，提高泵的抽氣效果。由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變，使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。

工作條件

(1)轉子轉速達到20000r/min，故分子泵啟動時間較長。

(2)氣體處于分子流狀態，故需要配備前級泵，一般使用旋片泵作為前級泵。

分子泵特點

油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小。

脂潤滑分子泵：油脂量極小，前級配干泵可獲得近似無油的清潔真空。

全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環境。

其他常見應用：

1.分析(質譜分析、電子顯微鏡等)

2.半導體(電子組件、集成電路、柔性太陽能電池等)

3.光學/玻璃(熱保護,增透、反射、光學濾光膜)

4.鍍膜(表面保護，裝飾涂料，顯示器，屏幕)

5.真空冶金(真空爐、真空釬焊、真空燒結、真空合金、)

6.泄漏檢測(真空系統、車輛的油箱,安全氣囊

7.研究實驗(醫學核磁共振成像、核粒子物理，核聚變研究，激光應用和許多更多)

8.燈生產行業及相關

11鈦升華泵

鈦升華泵是靠新鮮鈦膜的化學吸附作用抽氣的真空泵。

這種泵具有結構簡單、抽速大、無油污染、抗輻射和無振動噪聲等特點，啟動壓力為1～10-2帕，工作壓力范圍為10-2～10-8帕，是獲得無油超高真空的重要真空泵。

鈦升華泵可有三種類型，一種是單體泵，用法蘭與被抽容器聯接;另一種是升華器放入被抽容器中，被抽容器壁即為吸氣面;第三種是與其它泵組合，作成組合泵。無論哪種類型，都必須有吸氣面、升華器和控制器三部分。吸氣面主要是泵體或各種殼體，控制器屬于電控，升華器的種類較多，這里介紹幾種升華器的結構。

1)對升華器的要求：能提供所需要的鈦升華率;鈦升華率易于調節，可連續或間斷地供應吸氣劑;鈦升華器本身出氣少或易于去氣;要有足夠的工作壽命，即要有足夠的儲鈦量。

2)電阻加熱式升華器：直接通電加熱鈦絲。常用兩種結構。

(1)纏繞鈦絲式升華器：將鈦絲直接纏繞在鎢桿或鉭桿上，鎢桿或鉭桿通電加熱到足夠高的溫度，鈦就不斷升華出來。

(2)鈦鉬絲式升華器：這種升華器是將鈦(85%)與鉬(15%)冶煉成合金或將鈦直接鍍在鉬桿上，然后將鈦鉬絲直接通電加熱，使鈦不斷升華。

3)熱傳導加熱式：它是由導熱性能良好的氧化鈹陶瓷為芯，內串以錸鎢絲制成的加熱器。陶瓷芯上先繞一層鉬箔，防止鈦與氧化鈹直接接觸起反應，避免鈦的加劇消耗。鈦帶纏繞在鉬箔上，它們之間用氧化鉿-甘油漿涂敷。

4)輻射加熱式升華器：這種升華器從結構上將加熱源和升華源分成兩部分。利用放在鈦球內的螺旋鎢絲，由電阻加熱作熱源，利用輻射加熱鈦球，使鈦不斷地升華。

鈦升華泵的特性

1)極限壓強：可達10-10Pa。

2)抽速：鈦升華泵的抽速較大，新鮮鈦膜在液氮溫度下，對氮的抽速可達10.1L/cm2˙s，對氫的抽速可達19.9L/cm2˙s。鈦升華泵的抽速受很多因素影響，升華速率是決定其抽速的主要因素之一。若吸氣面足夠大，在一定壓強范圍內，升華速率高，則泵的抽速大。當然膜沉積速率與排氣量要相稱，否則第一層鈦膜吸氣尚未飽和，第二層又覆蓋上去，即使升華率高，抽速也增大不了多少。為了維持恒定的抽速，減少鈦的消耗，需要對升華速率進行調節。當真空度高時要把升華速率降低。吸氣面也是決定泵性能的重要因素之一。吸氣面越大，泵的抽速越大。但泵口流導限制了泵的抽速。對室溫下空氣，泵口最大流導是11.7L/cm2˙s。

影響因素

鈦升華泵(Ti升華泵)的抽氣速率與被抽氣體的種類及其壓力、鈦的升華率、鈦膜面積和鈦膜溫度等因素有關。

在壓力高時，泵的抽速決定于升華率。為獲得大的抽氣速率，壓力越高升華率應越大，但在低壓力下太大的升華率是不必要的。在 10-7帕壓力時的升華率只有10-3帕時的1%即可。在超高真空時常采用斷續升華，如10-8帕時每隔幾小時才升華1分鐘。

經徹底烘烤去氣的泵，用水或液氮冷卻對極限壓力的影響不大，但對抽氣速率的影響很大。液氮冷卻的抽氣速率一般比水冷卻的大1～4倍。

鈦升華泵的應用

鈦升華泵在電子器件、高能加速器、可控熱核反應裝置和空間模擬裝置，以及表面物理試驗等方面都得到廣泛的應用。鈦升華泵(TSP)可以有效抽除活性氣體H2、N2、CO等，適用于超高真空(UHV)系統。

使用要求

啟動鈦升華泵需要1～10-2帕的預真空，同時進行烘烤去氣(泵每次暴露于大氣壓后都要進行烘烤去氣)。

烘烤去氣是獲得超高真空的必要條件。泵經徹底烘烤去氣后，可以獲得低的極限壓力和縮短達到極限壓力的抽氣時間,還能使泵壁更清潔,沉積的鈦膜不易脫落和避免放氣等。一般以300～400℃溫度烘烤12～24小時。

泵啟動后泵壁不宜馬上冷卻，應讓升華的鈦在其上沉積幾分鐘后再冷卻，這樣鈦膜就不易脫落。

其他不得不看的真空泵選型策略

真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到最佳配置，選擇真空系統時，應考慮下述各點：

1、真空泵的極限壓力應該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個數量級。

2、每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。

3、真空泵在其工作壓力下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

4、選擇真空機組：

(1) 當使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足工藝要求。

(2) 有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空;有的真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。經組合使用的真空泵，我們稱之為真空泵機組，它能使真空系統得到較好的真空度及排氣量。我們應正確地選擇組合的真空泵，由于不同的真空泵對抽除的氣體要求有不同的要求，例如：在一般情況下羅茨-旋片機組不適用于含有較多可凝性氣體的系統。

5、當您選擇油封泵時，您應該首先了解您的真空系統是否對油污染有要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施,如加冷阱、擋油阱、擋板等，也能達到清潔真空要求。

6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸汽，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

7、當選擇油封真空泵時，要考慮真空泵排出來的油蒸汽(油煙)對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，應該選無油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。

8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響，若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

9、真空泵的價格、運轉及維修費用。

在考慮到了各種情況后，才能最后確定一個適應于您的解決方案：

(1) 最小的投資費用。

(2) 最小的生產運行費用。

(3) 將前兩種情況合理均勻分配的可行方案。

真空泵最佳工作范圍：